国家知识产权局信息显示，三星显示有限公司申请一项名为“沉积装置”的专利，公开号CN121407064A，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本公开涉及包括衬底支承台的沉积装置。根据实施方式的用于沉积的衬底支承台包括：基础部分；边缘夹持部分，位于基础部分的侧壁的侧表面上；以及加热器，位于边缘夹持部分上。边缘夹持部分包括主部分、第一突出部分和第二突出部分，第一突出部分和第二突出部分在高度方向上从主部分向下延伸，并且第一突出部分具有在高度方向上根据从主部分起的距离而变窄的横截面。
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